基板検査システム、表示装置及び表示方法

Substrate inspection system, display device, and display method

Abstract

【課題】目視検査の検査者の作業効率を向上させることのできる技術を提供する。 【解決手段】記憶部41は、自動欠陥検査装置2により欠陥の検出された基板の画像と、欠陥に係わる情報を示す欠陥情報とを、基板を識別する基板IDと対応付けて記憶する。欠陥表示装置4は、目視検査装置3において目視検査を行う基板の基板IDに基づいて自動欠陥検査装置2で取得された画像及び欠陥情報を記憶部41から読み出して、画像に対して欠陥部分を強調表示する。モニタ14は、欠陥表示装置4で強調処理された基板の画像を表示する。 【選択図】図3
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology that can improve working efficiency of an inspector of a visual inspection.SOLUTION: A storage part 41 stores an image of a substrate in which a defect is detected by an automatic defect inspection device 2 and defect information showing the information related to the defect in association with a substrate ID identifying the substrate. A defect display device 4 reads the image and the defect information obtained by the automatic defect inspection device 2 from the storage part 41 on the basis of the substrate ID of a substrate to be visually inspected in a visual inspection device 3, and highlights a defect part with respect to the image. A monitor 14 displays the image of the substrate on which highlight operation is performed by the defect display device 4.

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    JP-2015031567-AFebruary 16, 2015株式会社フジキカイ, Fuji Machinery Co LtdForeign matter inspection method and device of the same